"WM-10" 반도체 웨이퍼 표면 검사 장치
세계 최초의 Violet LD를 탑재한 업계 최저가 기종
Wafer 표면 검사 장치 WM-10은 6~8인치 또는 8~12인치 Wafer에 대응하는 베어(Bare) 실리콘 Wafer 상태에서 48nm의 고감도 Particle 측정이 가능합니다. 세계 최초로 광원에 Violet(청자색 반도체) 레이저를 탑재하여 60~90nm Process Node에 최적의 성능과 파격적인 비용절감을 실현한 High End 기종입니다.